[发明专利]探测装置

摘要

本发明提供探测装置，目的在于，在使检测头从上侧与探测卡接触、使探测卡的探测器与基板的电极垫电接触而测定该基板的电气特性时，高尺寸精度使检测头下降，使检测器与探测卡可靠地电接触，此外达到探测装置的小型化。该探测装置中，在保持检测头的保持部设置有对该检测头向上侧施力的气体弹簧，在探测卡的上方，在检测头成为水平的水平位置，凸轮随动件沿锥状的边沿部相对上升，从而使检测头下降，其中，边沿部在检测头的下表面的针的侧周面，在周方向上形成于多个位置，凸轮随动件在顶板上设置为围绕铅直轴自由旋转的滑动环的内周侧，在周方向上设置在多个位置。

主权项

1.一种探测装置，在形成于探测装置本体的顶板的开口部安装探测卡，使检测头位于该探测卡的上方，并且使形成在该探测卡的下表面的探测器与基板的被检查芯片的电极垫接触，检查被检查芯片的电气特性，其特征在于，包括：在所述探测卡的上方，使该检测头在其下表面成为水平的水平位置与从所述探测装置本体的顶板离开的退避位置之间，围绕水平的转动轴转动的转动机构；与所述转动轴连接，在所述检测头位于水平姿势时通过对所述检测头施加向上方侧的力的施力机构保持所述检测头的保持框；在所述开口部的周边部沿周方向旋转自由地环状安装的环体；沿着该环体的周方向设置有多个、分别围绕朝向该环体的旋转中心侧的水平轴旋转自由的凸轮随动件；设置在所述检测头的下表面侧，用于使该检测头与所述探测卡的上表面电连接的中间连接部件；和在该中间连接部件的外周沿着周方向与所述凸轮随动件对应地设置有多个，且上表面沿着所述环体的同心的圆而倾斜，作为在所述检测头为水平姿势时引导所述凸轮随动件的引导路径而形成的边沿部，通过使所述环体旋转，所述凸轮随动件沿所述引导路径的倾斜面相对上升，而抵抗所述施力机构所施加的力，使所述中间连接部件按下并压接于探测卡。