[发明专利]压电装置、角速度传感器、电子设备以及压电装置制造方法有效
| 申请号： | 200910167553.5 | 申请日： | 2009-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN101661989A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 小池伸幸;田村孝 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/187;H01L41/24;G01P3/44 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余 刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了压电装置、角速度传感、电子设备以及压电装置制造方法，其中，压电装置包括：基板、第一电极膜、压电膜和第二电极膜。第一电极膜形成在基板上。压电膜通过Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+X(0≤X≤0.3，0≤Y≤0.55)来表示并且通过X射线衍射法测量的烧绿石相的峰值强度相对于钙钛矿相的(100)平面取向、(001)平面取向、(110)平面取向、(101)平面取向以及(111)平面取向的峰值强度的和为10％以下，压电膜以400nm以上1,000nm以下的膜厚形成在第一电极膜上。第二电极膜层压在压电膜上。通过本发明，由于具有了良好的压电特性和耐热性，所以可以提供高可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 装置 角速度 传感器 电子设备 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电装置，包括：基板；第一电极膜，形成在所述基板上；通过Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+X(0≤X≤0.3，0≤Y≤0.55)表示的压电膜，通过X射线衍射法测量的其烧绿石相的峰值强度相对于钙钛矿相的(100)平面取向、(001)平面取向、(110)平面取向、(101)平面取向和(111)平面取向的峰值强度的总和为10％以下，所述压电膜以400nm以上1,000nm以下的膜厚形成在所述第一电极膜上；以及第二电极膜，层压在所述压电膜上。
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