[发明专利]检测装置有效

专利信息
申请号: 200910165537.2 申请日: 2009-07-29
公开(公告)号: CN101639369A 公开(公告)日: 2010-02-03
发明(设计)人: 濑尾雄三 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G01D18/00 分类号: G01D18/00;G01B9/02
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 魏小薇
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种检测装置,所述检测装置检测表示对象位置的由余弦函数和正弦函数近似的两个信号(A、B)中所包含的误差分量,该检测装置包含:基于误差预测值减小在信号(A、B)中包含的误差以输出两个误差校正信号(A*、B*)的运算部(3、4);基于误差校正信号(A*、B*)计算相位(θ)的相位运算部(5);存储误差校正信号(A*、B*)和相位(θ)的多个采样值的运算存储单元(9、10);和获得以下两个表达式中的系数αk、βk、γk和δk的傅立叶变换部(11、12):A*=α01cosθ+β1sinθ+…+αkcoskθ+βksinkθB*=γ01cosθ+δ1sinθ+…+γkcoskθ+δksinkθ(k≥2)其中,运算部(3、4)通过使用这些系数更新误差预测值。
搜索关键词: 检测 装置
【主权项】:
1.一种检测装置,所述检测装置被配置为检测表示待检测对象的位置的由余弦函数和正弦函数近似的两个信号中所包含的误差分量,所述检测装置包含:运算部,被配置为确定误差预测值以基于所述误差预测值减小在所述两个信号中包含的误差,从而输出两个误差校正信号;相位运算部,被配置为基于所述两个误差校正信号计算表示所述待检测对象的位置的相位;存储部,被配置为存储所述两个误差校正信号和所述两个误差校正信号在多个相位处的多个采样值;和傅立叶变换部,被配置为通过使用所述多个采样值执行傅立叶变换获得表示所述两个误差校正信号的两个表达式中的各项的系数αk、βk、γk和δk,所述两个表达式被如下表示:A*=α0+α1cosθ+β1sinθ+...+αkcoskθ+βksinkθB*=γ0+γ1cosθ+δ1sinθ+...+γkcoskθ+δksinkθ这里,A*和B*是两个误差校正信号,θ是信号之间的相位,k大于或等于2,其中,所述运算部被配置成通过使用所述两个表达式中各项的系数迭代地更新误差预测值。
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