[发明专利]检测装置有效
申请号: | 200910165537.2 | 申请日: | 2009-07-29 |
公开(公告)号: | CN101639369A | 公开(公告)日: | 2010-02-03 |
发明(设计)人: | 濑尾雄三 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G01D18/00 | 分类号: | G01D18/00;G01B9/02 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 魏小薇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 | ||
1.一种检测装置,所述检测装置被配置为基于两个信号检测待检测对象的位置,所述两个信号分别由余弦函数和正弦函数近似,所述检测装置包含:
运算部,被配置为基于误差预测值减小在所述两个信号中的每一个中包含的误差,从而输出两个误差校正信号;
相位运算部,被配置为基于所述两个误差校正信号计算表示所述待检测对象的位置的相位;
存储部,被配置为存储所述两个误差校正信号的采样数据,所述两个误差校正信号的采样数据是关于基于所述两个误差校正信号和所计算的相位的多个采样相位中的每一个而被采样的;和
傅立叶变换部,被配置为通过对所述采样数据执行傅立叶变换获得表示所述两个误差校正信号的两个表达式中的各项的系数αk、βk、γk和δk,所述两个表达式被如下表示:
A*=α0+α1cosθ+β1sinθ+...+αkcoskθ+βksinkθ
B*=γ0+γ1cosθ+δ1sinθ+...+γkcoskθ+δksinkθ
这里,A*和B*是所述两个误差校正信号的采样数据,θ是所述两个误差校正信号的采样数据的相位,k不小于2,
其中,所述运算部使用的误差预测值通过使用所获得的系数而被迭代地更新。
2.根据权利要求1的检测装置,其中,
所述多个采样相位是通过将2π等分为2M份而获得的相位,其中M不小于3。
3.根据权利要求1或2的检测装置,还包括:
检测部,被配置为输出所述两个信号;和
校正部,被配置为执行校正以使得通过使用所获得的系数减小在所述两个误差校正信号的每一个中包含的误差。
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