[发明专利]太阳能电池的电极制造设备

摘要

一种太阳能电池的电极制造设备，适用于一玻璃基板上成形一电极，太阳能电池的电极制造设备包含：依序连接的一常压预热装置、一真空溅镀装置、一持温装置，及一蚀刻装置。常压预热装置具有一内部维持一大气压力的预热腔室，及一安装于预热腔室中并输出热量的加热件。真空溅镀装置内部维持在真空状态并进行加温与溅镀，以于所述玻璃基板表面溅镀上一层透明导电材料。利用设置于真空溅镀装置前的常压预热装置，使玻璃基板在常压状态下先预热升温，避免玻璃基板进入真空溅镀装置的真空加温室中时，瞬间高温造成裂痕，提高生产良率。

主权项

一种太阳能电池的电极制造设备，适用于一块玻璃基板上成形一个电极，太阳能电池的电极制造设备包含：一个内部维持在真空状态并进行加温与溅镀且在所述玻璃基板表面溅镀上一层透明导电材料的真空溅镀装置、一个接收镀上透明导电材料的基板并保持一预定温度的持温装置，及一个蚀刻该基板上的透明导电材料的蚀刻装置，其特征在于：太阳能电池的电极制造设备还包含：一个安装于真空溅镀装置前并先预热所述玻璃基板的常压预热装置，常压预热装置具有一个内部维持一大气压力的预热腔室，及一个安装于该预热腔室中并输出热量预热所述玻璃基板的加热件。