[发明专利]多层化学机械抛光垫的制造方法有效
| 申请号： | 200910160797.0 | 申请日： | 2009-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101628398A | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | M·詹森;J·G·诺兰德;B·哈丁;C·科德 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈哲锋;周承泽 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种制造多层化学机械抛光垫的方法，其包括：提供抛光层，提供子垫层，任选提供附加层，提供未固化的反应性热熔粘合剂，以一定图案将未固化的反应性热熔粘合剂施用于至少一个层的表面，在未固化的反应性热熔粘合剂图案上施加其他层中的一个层，将这两个层压制在一起，使未固化的反应性热熔粘合剂介于其间，使未固化的反应性热熔粘合剂固化，形成在这两个层之间的反应性热熔粘合剂粘结。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 化学 机械抛光 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造多层化学机械抛光垫的方法，其包括：提供抛光层；提供子垫层，其具有顶表面和底表面；提供未固化的反应性热熔粘合剂；将未固化的反应性热熔粘合剂施用于子垫层的顶表面，其中未固化的反应性热熔粘合剂以平行线图案施用；在未固化的反应性热熔粘合剂的平行线图案上放置抛光层，形成抛光垫堆叠物；向抛光垫堆叠物施加压力，将抛光层和子垫层压制在一起；和使未固化的反应性热熔粘合剂固化，形成在抛光层和子垫层之间的反应性热熔粘合剂粘结。
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