[发明专利]喷砂方法和装置,薄膜太阳能电池板及其加工方法有效
申请号: | 200910159091.2 | 申请日: | 2009-08-06 |
公开(公告)号: | CN101642896A | 公开(公告)日: | 2010-02-10 |
发明(设计)人: | 间瀬惠二;藤乘茂 | 申请(专利权)人: | 株式会社不二制作所 |
主分类号: | B24C3/12 | 分类号: | B24C3/12;B24C9/00;B24C5/02;B24C5/04;H01L31/18;H01L31/042 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 党晓林 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及喷砂方法和装置,薄膜太阳能电池板及其加工方法。具体地,在采用细磨料的精细喷砂中,加工薄膜太阳能电池板等无需对于工件附接和分离掩膜以及清洗步骤。具有开口(22、42)的负压空间(20)和相对负压空间(40)以诸如薄膜太阳能电池板等的工件的运动允许间隔隔开对置,从而沿与工件的移动方向相同的方向面向一侧边。此外,当工件相对于在负压空间(20)中布置喷射孔(31)的喷枪(30)沿移动方向(T)相对移动时喷射细粒磨料,并且喷射至负压空间(20)和/或相对负压空间(40)中的细粒磨料和切削磨料以及例如薄膜层等的清除切屑经分别与空间(20,40)连通的抽吸装置(21a、21b)和/或相对抽吸装置(41)的中间作用被抽吸和回收。 | ||
搜索关键词: | 喷砂 方法 装置 薄膜 太阳能 电池板 及其 加工 | ||
【主权项】:
1、一种喷砂方法,包括如下步骤:通过与待加工工件上的空间连通的抽吸装置的中间作用来抽吸该空间,以使该空间成为负压空间;使所述工件在大气中相对于喷枪的喷射孔相对地移动,所述喷枪设置在所述负压空间内而与彼此相距预定间隔设置的所述工件的待加工表面相对;从开口将压缩气体和磨料的混合流体喷射至所述工件的所述待加工表面,所述开口的纵向定位在与所述负压空间内的所述工件的移动方向相同的方向上,并且所述开口形成于所述负压空间内并面向所述工件的至少一侧边;以及经所述抽吸装置的中间作用来抽吸和回收切屑和所述磨料。
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