[发明专利]喷砂方法和装置,薄膜太阳能电池板及其加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有用于喷砂加工的磨料的回收系统的喷砂方法和 装置，并且更具体涉及一种包括磨料，特别是细粒磨料的回收方法的喷 砂方法，作为用于回收喷砂中磨料的系统，本发明还涉及：用于该加工 的喷砂装置，该喷砂装置具有执行该方法的磨料回收系统；按照该加工 方法的薄膜太阳能电池板的加工方法；以及由该方法加工的薄膜太阳能 电池板。

更详细地，本发明涉及喷砂方法和喷砂加工装置(下文中，称为“喷 砂装置”)以及按照该加工方法的薄膜太阳能电池板，所述喷砂方法和喷 砂加工装置能够防止细磨料(下文中，称为“磨料”)和包含由喷砂加工 而压碎的磨料的切屑附着于被加工的物品(下文中，称为“工件”)之上， 其优选地适合于所谓的利用磨料的喷砂。

此外，本发明的发明人着重于喷砂加工，该喷砂加工还没有被建议、 尝试、实验或例证作为可应用于用于薄膜太阳能电池板的刻划方法的手 段。更详细地，本发明中，旨在提供一种喷砂方法，薄膜太阳能电池板 的加工方法，和由该方法加工的薄膜太阳能电池板，所述喷砂方法包括： 没有任何掩模(固定在表面上的覆盖物以防止加工预定表面的一部分) 的细磨料和切屑的回收步骤，以及通过设置有优选用于该回收的磨料回 收系统的喷砂装置进行喷砂加工之后的工件的清洁工艺。

本发明中，细磨料的概念包括粗粒与细粒。JISSR6001中，规定了 粗粒的粒度分布，并且能够使用达到粒度F60(在JIS中如此标明)的粒 度分布。F60中典型的粒度是230μm，然而在下文中，细粒意味着#400 或更高的颗粒，或者平均粒径为30μm或更小的颗粒。

背景技术

作为工件的加工例子，实验上参照还未被惯常使用的重力型喷砂装 置60，并将参照图7对其进行描述。该喷砂装置具有在其内部形成加工 室的机壳61，用于通过在机壳内部设置喷嘴62加工经输入端口63的中 间作用运送至该机壳61内的工件(未示出)。

通常，喷砂装置内磨料的回收循环如下构成。即，该机壳61的下部 形成为倒锥形，漏斗68形成在下部，并且该漏斗68的最下端与回收罐 70的上部连通用于回收磨料，该回收罐经导管65的中间作用安装在该机 壳61的上部。

此外，上述的回收罐70是用于从磨料中分离切屑的所谓的旋风分离 器。如果导管65的前端经连通管75的中间作用连接至回收罐70的流入 端口73，并且回收罐70的内部被具有出风机的集尘器(未示出)经由连 接管74和排出管67的中间作用抽吸，那么机壳内的磨料和切屑连同气 流一起经连通管75的中间作用传送至回收罐70中，切屑在降落而沿回 收罐70的内壁旋转时由集尘器回收，并且可重复使用的磨料收集在回收 罐70的底部并经磨料进料管64的中间作用被加压供给至喷嘴62。

如上所述，在必要时可重复使用的磨料连同重新装入的磨料能够由 喷嘴喷射。

其后，重复上述的回收循环。

如上所述，在常规喷砂装置中，加工室内喷射的磨料通过由集尘器 产生的负压被送入进回收罐70，随后被回收。然而，在使用具有小粒径 的细粒的情况下，由于与通常的磨料相比，各个细磨料的表面积相对于 其重量较大，因此细磨料具有倾向于牢固附着或粘着至工件等上的特性。 因此，一旦细磨料附着在工件和加工室的内壁上，即使通过负压抽吸加 工室的内部或者对工件施加吹气等，也难以将细磨料去除。

因此，通过所述细磨料施加喷砂的工件在喷砂后需要用于通过用清 洗水对其清洗以去除附着于工件表面的细磨料的步骤。

如上所述，在采用细磨料的喷砂中，考虑到一旦细磨料附着于工件 等上，则难以将其去除的事实，建议在细磨料附着于工件或其它地方之 前回收细磨料。

作为所述结构的一个例子，在图8所示的喷砂装置80中，建议加工 管81的一端设有喷射磨料的喷嘴91，加工管81的另一端与通过负压抽 吸磨料的抽吸管83连通，加工管81在磨料喷射流的前侧设有喷砂室82， 喷砂室82的侧壁设有在近似垂直于磨料喷射流的方向上插入工件W的 插入口84，作为进气间隙用于抽吸周围空气的进气口85形成在插入口 84的内周与工件W的外周之间，借此在喷砂室内喷射至工件的细磨料被 从抽吸管立即抽吸，并且通过从进气间隙抽吸的周围空气产生的吹气， 防止磨料散布至加工室(参见日本专利LOPI NO.H09-300220)。