[发明专利]检测光源的选用方法及其系统有效

专利信息
申请号: 200910149655.4 申请日: 2009-06-17
公开(公告)号: CN101922996A 公开(公告)日: 2010-12-22
发明(设计)人: 钟政英;林长庆;曾健明 申请(专利权)人: 财团法人金属工业研究发展中心
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G01N21/89;G01N21/898
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 姜燕;陈晨
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明揭示一种检测光源的选用方法及其系统,此系统包含一光源驱动模块、一扫描模块以及一推论模块。检测光源的选用方法由光源驱动模块提供多个测试光源投射于一待测物上;由扫描模块对待测物线形扫描形成对应所述多个测试光源的多个图像;推论模块记录有待测物的缺陷数据,并根据一分析法则将各图像与缺陷数据比对以产生对应各图像的品质分数,以从各品质分数分析并挑选出最适用于检测待测物的检测光源。本发明可适用于多种类型的生产线。厂商作测试前的系统调整作业时,可以找到最适用于待测物的检测光源,求取最大的检测良率。当厂商可大幅降低因设备更换而产生的成本,并能应用于多种不同产线,实用性甚高。
搜索关键词: 检测 光源 选用 方法 及其 系统
【主权项】:
一种检测光源的选用系统,其包含:一传输模块,用以传输至少一待测物;一光源驱动模块,包含多个相异波长的测试光源,并将所述多个测试光源的一测试光源照射于所述至少一待测物的传输路径上,以形成一投射区域;一扫描模块,用以在所述至少一待测物经过该投射区域时线形扫描所述至少一待测物,以产生所述至少一待测物分别受各所述测试光源照射且扫描而成的多个图像;一控制模块,于所述至少一待测物经过该投射区域时令该扫描模块扫描所述至少一待测物,且判断所述至少一待测物通过该投射区域后,切换该光源驱动模块投射的测试光源;以及一推论模块,包含所述至少一待测物的至少一缺陷数据,该推论模块根据一分析法则将每一所述图像与所述至少一缺陷数据相比对,以计算出每一所述图像的一品质分数,从所述品质分数选出一最佳品质分数所属的该图像对应的该测试光源为一检测用光源。
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