[发明专利]带电粒子检测装置有效
| 申请号： | 200910140464.1 | 申请日： | 2009-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101929965A | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 汪苏;张旭;陈仲玮 | 申请（专利权）人： | 汉民微测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 | 代理人： | 文琦;陈波 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 带电粒子检测装置，其包括多个独立光导模块组装在一起形成的、具有让入射带电粒子束通过的中央孔洞的透镜内在轴区块环绕检测装置。此组件在正对试片的一面涂布或结合闪烁材料，以作为带电粒子检测表面。每一光导模块与光电倍增管耦合，以让传递自每一个光导模块的光信号得以分别被放大和处理。带电粒子检测装置由整块状光导材料制成，从其一面挖出圆锥形止于相对面，圆锥的末端开口让入射带电粒子束通过，而相对面涂布或结合闪烁材料，以作为带电粒子检测面。光导块的外部加工成四个独立的光信号输出信道，每一个输出信道与光电倍增管耦合，以让各个信道的输出信号得以分别被放大和处理。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种带电粒子检测装置，用来检测二次电子、背向散射电子或离子，所述带电粒子检测装置包括：一带电粒子检测组件：包括多个检测区块，每一个所述检测区块与一前置放大器耦合，以放大所述检测区块的输出信号，其中，每一所述检测区块包括一带电粒子检测模块，其具有相互结合的一带电粒子接收处以及一检测信号产生处，在所述带电粒子接收处被带电粒子束轰击时，所述检测信号产生处产生所述输出信号。
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