[发明专利]涂布装置无效
| 申请号： | 200910140256.1 | 申请日： | 2009-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN101628273A | 公开（公告）日： | 2010-01-20 |
| 发明（设计）人： | 小嶋纯一 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子装置股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/00;B05C13/02;B05C21/00;G02F1/1339 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林;李艳艳 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够适当地对涂布在基板上的涂布液的截面面积或者截面形状进行测定的涂布装置。涂布单元(20)内的系统控制器(220)和伺服驱动器(222)构成为：在对涂布于玻璃基板(50)上的糊膏(60)的截面面积进行测定的时刻，停止对通过伺服控制使基板操作台(116)和喷头(110)移动的伺服电机(202、206、210)供给电力，从而使伺服控制停止。由此，在想要使基板操作台(116)和喷头(110)停留在预定位置的情况下，不会伴随用于对位的伺服控制而产生微小振动，能够适当地对糊膏(60)的截面面积进行测定。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，该涂布装置将涂布液涂布在基板上，其特征在于，该涂布装置包括：操作台，其用于搭载所述基板；喷头，其具有朝向所述基板排出所述涂布液的喷嘴；测定装置，其对从所述喷嘴中排出并涂布在所述基板上的涂布液的截面面积或者截面形状进行测定；驱动机构，其通过伺服控制使所述操作台和所述喷头中的至少任一方移动；以及控制装置，其在利用所述测定装置对所述涂布液的截面面积或者截面形状进行测定时，使所述驱动机构的伺服控制停止。
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