[发明专利]涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种将涂布液涂布在基板上的涂布装置。

背景技术

以往，在制造液晶显示面板时，采用将密封液晶用的糊膏(paste)涂布在玻璃基板上的糊膏涂布装置。在这样的糊膏涂布装置中，将玻璃基板搭载在操作台上，通过将填充于糊膏筒中的糊膏从喷嘴中排出，从而将该糊膏涂布在玻璃基板上。在涂布糊膏时，需要将糊膏适当地涂布在玻璃基板上。一般来说，糊膏具有其粘度随时间增长而增大的特性(摇变性)。因此，即使是通过保证喷嘴前端与玻璃基板的距离固定等使糊膏涂布装置的涂布条件相同，涂布在玻璃基板上的糊膏的量还是会出现差异。

因而，例如专利文献1中记载的糊膏涂布装置通过光学距离计来测量其到涂布于基板上的糊膏的距离，从而测定该糊膏的截面形状，以此能够确认该截面形状是否适当，进而能够确认糊膏的量是否适当。

专利文献1：日本特开平7-275770号公报

然而，在上述现有的糊膏涂布装置中，在涂布糊膏时通过伺服控制使操作台和喷头移动的情况下，会产生如下的问题。即，就伺服控制来说，根据用于使操作台和喷头移动的伺服电机的旋转量来检测所述操作台和喷头的位置，进而根据该位置来控制伺服电机的驱动，从而使操作台和喷头对齐即所谓反馈控制。

在这样的伺服控制下，操作台和喷头在预定位置保持停止状态，在使操作台和喷头停止在预定位置以使光学距离计能够测定距离时，伺服电机交替重复正转和反转地进行振动，产生被称作脉动(panting)的现象，因而有时操作台和喷头会产生微小的振动。因为糊膏的截面非常小，因此即使是这样微小的振动，也会妨碍到光学距离计进行准确的距离测定。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而作出的，提供一种能够适当地对涂布于基板上的涂布液的截面面积和截面形状进行测定的涂布装置。

本发明所述的将涂布液涂布在基板上的涂布装置包括：操作台，其用于搭载所述基板；喷头，其具有朝向所述基板排出所述涂布液的喷嘴；测定装置，其对从所述喷嘴中排出并涂布在所述基板上的涂布液的截面面积或者截面形状进行测定；驱动机构，其通过伺服控制使所述操作台和所述喷头中的至少任一方移动；以及控制装置，其在利用所述测定装置对所述涂布液的截面面积或者截面形状进行测定时，使所述驱动机构的伺服控制停止。

根据该结构，在测定被涂布在基板上的涂布液的截面面积或者截面形状的时刻，通过使用于移动操作台和喷头的伺服控制停止，从而在想要将操作台和喷头停留在预定位置的情况下，不会伴随着用于对位的伺服控制而产生微小振动，从而能够适当地对涂布液的截面面积或者截面形状进行测定。

此外，本发明所述的涂布装置的特征在于，所述驱动机构具有伺服电机，并且利用供给来的电力驱动所述伺服电机进行伺服控制，所述控制装置在利用所述测定装置对所述涂布液的截面面积或者截面形状进行测定时，停止对所述伺服电机供给电力。

根据该结构，通过停止对伺服电机供给电力，从而能够停止伺服控制。

此外，本发明所述的涂布装置的特征在于，所述涂布装置具有驱动轴，所述驱动轴安装在所述操作台和所述喷头的至少任一方上，并且所述伺服电机使所述驱动轴旋转。

此外，本发明所述的涂布装置的特征在于，所述控制装置对所述驱动机构进行控制，停止对所述操作台和所述喷头中的预先确定的一方进行伺服控制，所述预先确定的一方是所述操作台和所述喷头中的会因振动而使所述涂布液的截面面积或者截面形状的测定产生误差的一方。

根据该结构，仅停止对操作台和喷头中的因振动而使涂布液的截面面积或者截面形状的测定产生误差的部分的伺服控制，从而能够将该伺服控制的停止限制在必要的最小限度内。

根据本发明，在测定被涂布在基板上的涂布液的截面面积或者截面形状时，在想要使操作台和喷头停留在预定位置的情况下，不会伴随着对位用的伺服控制而产生微小振动，能够适当地对涂布液的截面面积或者截面形状进行测定。由此，能够适当地判定涂布液的涂布状态，从而能够提高涂布液的涂布质量的可靠性。

附图说明

图1是应用了本发明的实施方式所述的涂布装置的糊膏涂布系统的俯视图。

图2是涂布单元的外观立体图，以及表示用于说明涂布单元内的各部分的移动方向的坐标空间的图。

图3是示出涂布喷嘴部的结构的图。

图4是截面面积传感器测定其到涂布于玻璃基板上的糊膏的距离的一个例子的立体图。

图5是截面面积传感器测定其到涂布于玻璃基板上的糊膏的距离的一个例子的侧视图。