[发明专利]缺陷诊断及管理的方法无效
| 申请号： | 200910134101.7 | 申请日： | 2009-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101852741A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 吕一云 | 申请（专利权）人： | 吕一云 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;H01L21/66;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷诊断及管理的方法，其应用于一物体的制造流程中，该方法包括步骤如下：得到该物体的一检验影像图，该检验影像图显示该物体的至少一个缺陷；搜寻对应于该检验影像图的一设计规划图，该设计规划图具有多个导电区域；比对该检验影像图及该设计规划图来校正该缺陷在该设计规划图上的坐标；以及判断该缺陷与该导电区域的重叠量来判定该缺陷是否导致一断路错误或一短路错误。借此，缺陷于设计规划图的正确坐标可被找到，使得缺陷可进一步被判定是否会导致错误。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 诊断 管理 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷诊断及管理的方法，其特征在于，其应用于一物体的制造流程中，该方法包括步骤如下：得到该物体的一检验影像图，该检验影像图显示该物体的至少一个缺陷；搜寻对应于该检验影像图的一设计规划图，该设计规划图具有多个导电区域；比对该检验影像图及该设计规划图来校正该缺陷在该设计规划图上的坐标；判断该缺陷与该导电区域的重叠量来判定该缺陷是否导致一断路错误或一短路错误。
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