[发明专利]抛光垫修整器无效
| 申请号： | 200910128266.3 | 申请日： | 2009-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN101844330A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 宋健民;陈盈同 | 申请（专利权）人： | 宋健民 |
| 主分类号： | B24B53/12 | 分类号： | B24B53/12;B24B29/00;B24B37/04;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种抛光垫修整器，包括一基座、至少一CVD钻石刀片及多个超硬材料颗粒；该基座支撑及固定结合该至少一CVD钻石刀片及多个超硬材料颗粒；该至少一CVD钻石刀片及多个超硬材料颗粒的顶端分别突出该基座的顶端；利用超硬材料颗粒可以切割抛光垫，利用CVD钻石刀片不仅可以切割抛光垫，也可以扫除堆积在抛光垫上的抛光碎屑，可提升CMP修整器的移除材料效率及节省CMP修整器的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 修整 | ||
【主权项】：
一种抛光垫修整器，用以修整CMP抛光垫，包括：一基座；至少一CVD钻石刀片；其中，该基座支撑及固定结合该至少一CVD钻石刀片；该至少一CVD钻石刀片突出该基座一突出量。
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