[发明专利]基板翻转平台与翻转基板的方法

摘要

一种基板翻转平台与翻转基板的方法，用以吸附基板并翻转基板。此基板翻转平台包括固定架、翻转架与气流导引装置。翻转架枢接于固定架上，且翻转架内部为中空。翻转架具有适于吸附基板的吸附面，且吸附面设有多个第一引线孔与多个第二引线孔。气流导引装置包括第一管线单元与第二管线单元。第一管线单元的一端伸入翻转架内部并延伸至第一引线孔，而第二管线单元的一端伸入翻转架内部并延伸至第二引线孔，且第一管线单元与第二管线单元彼此独立、互不相通。此基板翻转平台可防止基板在翻转的过程中掉落。

主权项

1. 一种基板翻转平台，其特征在于，所述述基板翻转平台用以吸附一基板并翻转所述基板，所述基板翻转平台包括：一固定架；一翻转架，枢接于所述固定架上，所述翻转架内部为中空，所述翻转架具有适于吸附所述基板的一吸附面，且所述吸附面设有多个第一引线孔与多个第二引线孔；一气流导引装置，包括：一第一管线单元，一端伸入所述翻转架内部并延伸至所述这些第一引线孔；以及一第二管线单元，一端伸入所述翻转架内部并延伸至所述这些第二引线孔，且所述第一管线单元与所述第二管线单元彼此独立、互不相通。