[发明专利]测量装置无效
| 申请号： | 200910127444.0 | 申请日： | 2009-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN101532832A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 石津千裕;山本武 | 申请（专利权）人： | 三丰株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 岳雪兰 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种测量装置，其包括：放置被测物的XY载物台、具有多种探头(9A，9B，9C)的探头支架(20)以及使XY载物台和探头支架(20)相对移动的相对移动机构。在探头支架(20)上设有探头切换机构(30)，该探头切换机构(30)为具有倾斜配置的两个导轨(31，32)，并且，选择性地使至少两个以上的探头(9A，9B)相对探头切换位置(CP)可定位且可退避地进退。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种测量装置，包括放置被测物的工作台、具有多种探头的探头支架以及使所述工作台和所述探头支架相对移动的相对移动机构，该测量装置的特征在于，在所述探头支架上设有探头切换机构，所述探头切换机构为选择性地使至少两个以上的所述探头相对所述探头支架的探头切换位置能够定位且能够退避地作进退动作。
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