[发明专利]测量和获取相对于衬底表面的高度数据的方法和设备

摘要

本发明公开了一种测量和获取相对于衬底表面的高度数据的方法和设备。所述设备包括用于相对于投影系统的焦平面定位衬底的目标部分的水平传感器、构造成移动光刻设备的衬底台的一对致动器和用于通过控制致动器相对于水平传感器移动衬底的控制器。控制器将第一和第二致动器的动作结合，以产生具有比所述致动器中的至少一个的单独的最大速度大的速度的移动。

主权项

1. 一种光刻投影设备，其包括：支撑结构，所述支撑结构构造用于支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够将图案在辐射束的横截面上赋予辐射束以形成图案化的辐射束；衬底台，所述衬底台构造并配置用于保持衬底；投影系统，所述投影系统构造并配置用于将图案化的辐射束投影到所述衬底的目标部分上；水平传感器，所述水平传感器构造并配置用于执行所述衬底的至少一部分的高度测量以生成高度数据，以用于相对于投影系统的焦平面定位所述衬底的目标部分；第一致动器，所述第一致动器构造并配置用于至少在与具有最大速度的所述衬底的表面相垂直的第一方向上移动所述衬底台；和第二致动器，所述第二致动器构造并配置用于至少在与具有最大速度的所述衬底的表面相垂直的第二方向上移动所述衬底台；控制器，所述控制器构造并配置用于通过控制所述第一和所述第二致动器而在所述衬底和所述水平传感器之间产生相对移动的行程，其中所述控制器被构造并配置成将第一和第二致动器的移动组合起来，以产生以高于一个致动器的最大速度的速度进行的组合移动。