[发明专利]一种在衬底上实现微图案化的方法无效
| 申请号： | 200910112688.1 | 申请日： | 2009-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN101700866A | 公开（公告）日： | 2010-05-05 |
| 发明（设计）人： | 李磊;钟雅文;龚剑亮;李剑;贲毅 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种在衬底上实现微图案化的方法，涉及一种图案化方法。提供一种在衬底上实现微图案化的方法。制备有序多孔聚合物薄膜：将聚合物与有机溶剂配成质量分数为1％～5％的溶液，在相对湿度为80％～100％，温度为20～35℃环境下，在衬底上滴膜，得到蜂窝状有序多孔聚合物薄膜；制备有序多孔金掩膜：将有序多孔聚合物薄膜倾斜，在有序多孔聚合物薄膜上连续喷金后，置于氯仿或四氢呋喃中浸润，待聚合物完全溶解后，得有序多孔金掩膜；制备微图案化衬底：将覆盖有序多孔金掩膜的衬底从氯仿或四氢呋喃中取出，烘干，将蜂窝状有序排列的多孔微图案从聚合物薄膜转到衬底上，实现微图案化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 实现 图案 方法 | ||
【主权项】：
一种在衬底上实现微图案化的方法，其特征在于包括以下步骤：1)制备有序多孔聚合物薄膜：将聚合物与有机溶剂配成质量分数为1％～5％的溶液，在衬底上滴膜，得到蜂窝状有序多孔聚合物薄膜；2)制备有序多孔金掩膜：将有序多孔聚合物薄膜倾斜，在有序多孔聚合物薄膜上连续喷金后，置于氯仿或四氢呋喃中浸润，待聚合物完全溶解后，得有序多孔金掩膜；3)制备微图案化衬底：将覆盖有序多孔金掩膜的衬底从氯仿或四氢呋喃中取出，烘干，将蜂窝状有序排列的多孔微图案从聚合物薄膜转到衬底上，实现微图案化。
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