[发明专利]一种复合型相位掩模板

摘要

本发明公开了一种复合型相位掩模板，复合型相位掩模板的相位分布函数包含正弦型和三次方型两种函数，相位分布函数θ(x，y)的函数式如下：θ(x，y)＝α·(x³+y³)+β·(sin(ω·x)+sin(ω·y))，式中，β·(sin(ω·x)+sin(ω·y))为正弦型函数，α·(x³+y³)为三次方型函数；其中，α为三次方型函数的幅值，β为正弦型函数的幅值，ω表示正弦型函数的角频率，x，y为孔径平面归一化的空间坐标。本发明还公开了一种采用正弦型和三次方型两种函数复合的复合型相位掩模板的成像系统，该成像系统的Fisher信息的数值较小，相位掩模板对离焦不敏感，具有较好的景深扩展能力。

主权项

1、一种复合型相位掩模板，其特征在于：所述的复合型相位掩模板的相位分布函数包含正弦型和三次方型两种函数，相位分布函数θ(x，y)函数式如下：θ(x，y)＝α·(x3+y3)+β·(sin(ω·x)+sin(ω·y))式中，β·(sin(ω·x)+sin(ω·y))为正弦型函数，α·(x3+y3)为三次方型函数；其中，α为三次方型函数的幅值，β为正弦型函数的幅值，ω表示正弦型函数的角频率，x，y为孔径平面归一化的空间坐标。