[发明专利]基于阈值变化的剂量率远程在线自动测试系统及方法无效
| 申请号： | 200910080059.5 | 申请日： | 2009-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101839990A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 卜建辉;刘梦新;刘刚;卢烁今;韩郑生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01T1/02 | 分类号： | G01T1/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于阈值变化的剂量率远程在线自动测试系统，包括：主控计算机，用于运行图形监控测试程序，向数据采集卡输出主控信号，接收数据采集卡返回的的剂量率测试结果并显示；数据采集卡，用于根据接收自主控计算机的主控信号向测试开发板输出时钟信号；测试开发板，用于执行计数功能得到一数字信号，对该数字信号进行数模转换得到一模拟信号，对该模拟信号进行信号放大得到0至-30V的程控电压，然后通过电缆线输出给辐照源内DUT开发板，同时用于对DUT测试结果的采集；辐照源内DUT开发板，用于将接收的0至-30V的程控电压施加至待测SOI PMOS上，通过对背栅阈值电压变化的测试对剂量率进行测试，并将得到的剂量率测试结果返回给主控计算机。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 阈值 变化 剂量率 远程 在线 自动 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于阈值变化的剂量率远程在线自动测试系统，其特征在于，该系统包括：主控计算机，用于运行图形监控测试程序，向数据采集卡输出主控信号，接收数据采集卡返回的的剂量率测试结果并显示；数据采集卡，用于根据接收自主控计算机的主控信号向测试开发板输出时钟信号；测试开发板，用于根据接收的时钟信号执行计数功能得到一数字信号，对该数字信号进行数模转换得到一模拟信号，对该模拟信号进行信号放大得到0至-30V的程控电压，然后将该0至-30V的程控电压通过电缆线输出给辐照源内DUT开发板，同时用于对DUT测试结果的采集；以及辐照源内DUT开发板，用于将接收的0至-30V的程控电压施加至待测SOI PMOS上，通过对背栅阈值电压变化的测试对剂量率进行测试，并将得到的剂量率测试结果通过电缆线、测试开发板、数据采集卡返回给主控计算机。
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