[发明专利]一种环形栅器件版图参数提取方法

摘要

一种环形栅器件版图参数提取方法，本发明通过对环形栅进行分段并分别对每段进行等效宽长比的计算，能够准确提取出器件的宽长比，通过改变源区和漏区的周长提取规则，能够准确提取环形栅晶体管的源区和漏区的周长，本发明定制的版图提取规则能够保证提取出的参数准确，可以满足环形栅器件模型设计的需求，从而解决了环形栅器件的版图参数难以准确提取的问题，对于不同的工艺和提取工具，这种方法具有可移植性和传承性。

主权项

1、一种环形栅器件版图参数提取方法，其特征在于：包括对环形栅器件宽长比参数提取的步骤、对环形栅器件源区和漏区的面积及周长参数提取的步骤，上述两个步骤所提取的参数共同构成环形栅器件的版图参数，其中：所述的对环形栅器件宽长比参数提取的步骤为：(a)对环形栅器件的环形栅进行分段；(b)计算由步骤(a)得到的每段栅的等效宽长比；(c)将步骤(b)计算得到的每段栅的等效宽长比进行相加作为环形栅器件的总宽长比；所述的对环形栅器件源区和漏区的面积及周长参数提取的步骤包括：提取环形栅器件源区的面积参数、提取环形栅器件漏区的面积参数、提取环形栅器件源区的周长参数和提取环形栅器件漏区的周长参数；其中环形栅器件源区周长参数的提取方法为：如果源区位于环形栅外，则分别提取环形栅器件源区与栅区的相交线长度和源区与场氧区的相交线长度，将两个相交线长度相加得到环形栅器件源区的周长参数；如果源区位于环形栅内，则提取环形栅器件源区与栅区的相交线长度，将这个相交长度作为环形栅器件源区的周长参数；环形栅器件漏区周长参数的提取方法为：如果漏区位于环形栅内，则提取环形栅器件漏区与栅区的相交线长度，将这个相交长度作为环形栅器件漏区的周长参数；如果漏区位于环形栅外，则分别提取环形栅器件漏区与栅区的相交线长度和漏区与场氧区的相交线长度，将两个相交线长度相加得到环形栅器件漏区的周长参数。