[发明专利]超声扫描显微镜C扫描相位反转图像的构建方法有效

专利信息
申请号: 200910075712.9 申请日: 2009-10-16
公开(公告)号: CN101672826A 公开(公告)日: 2010-03-17
发明(设计)人: 姚立新;付纯鹤;邴守东;孙明睿;邱军;魏鹏 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十五研究所
主分类号: G01N29/06 分类号: G01N29/06
代理公司: 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 代理人: 张贰群
地址: 065201河北省*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了超声扫描显微镜C扫描相位反转图像的构建方法,涉及超声扫描显微镜设备对采集到的数据处理技术领域。具有以下步骤:a、设置相关数据门,确定检测区域及阈值电压;b、扫描并发射超声波,位置同步触发产生超声波:c、判定被测目标检测位置每一个点正负峰值电压值是否发生相位反转,将峰值结果转换为构建图像像素灰度值;d、将每一个点对应的灰度值输出到屏幕上构建灰度图像。本发明的有益效果是构建的相位反转图像可以检测器件内部的分层、气孔等缺陷,克服了现有方法对被测目标表面平面度及放置的要求高、构建图像位置不准确、构建速度慢、相位反转判定不准确等缺点。
搜索关键词: 超声 扫描 显微镜 相位 反转 图像 构建 方法
【主权项】:
1、一种超声扫描显微镜C扫描相位反转图像的构建方法,其特征在于具有以下步骤:a、设置相关数据门,确定检测区域及阈值电压;b、C扫描并发射超声波:扫描过程中在每个位置点发射超声波,位置同步触发产生超声波:即采用光栅尺作为反馈装置,当光栅尺计数达到预设置值时自动硬件触发产生超声波;并接收反射回波,获取返回信号的正负峰值电压值;c、将峰值结果转换为构建图像像素灰度值:即判定被测目标检测位置每一个点正负峰值电压值是否发生相位反转,然后将这些经过判断处理后的峰值按照一定方法转换为相对应的灰度值;d、将每一个点对应的灰度值输出到屏幕上构建灰度图像。
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