[发明专利]光学晶体元件激光损伤阈值检测装置

摘要

一种光学晶体元件激光损伤阈值检测装置，属于光学晶体元件激光损伤阈值检测技术领域。它解决了目前没有专用检测装置来实现光学晶体元件激光损伤阈值的精确测试的问题。它利用控制计算机编程来控制伺服电动机和平板直线电机的运动，使光学晶体元件上起始测试区域处于激光光束路径上，通过竖直微位移工作台和水平微位移工作台调整CCD摄像头与光学晶体元件之间的相对位置，伺服电动机的旋转运动通过滚珠丝杠转化为滚珠丝母的直线运动，滚珠丝母带动丝母滑块上下运动，从而带动L形直线电机支撑板的上下运动，使平板直线电机可以上下调节光学元件夹具体的高度。本发明用于光学晶体元件激光损伤阈值的检测。

主权项

一种光学晶体元件激光损伤阈值检测装置，其特征在于：它包括水平工作台(1)、电机支撑架(2)、电机联接板(3)、伺服电动机(4)、下轴承组件(5)、联轴器(6)、滚珠丝杠(7)、滚珠丝母(8)、丝母滑块(9)、L形直线电机支撑板(10)、直线导轨(11)、上轴承组件(12)、平板直线电机(13)、光学元件夹具体(14)、两轴运动控制卡(15)、控制计算机(16)、CCD摄像头(17)、L形CCD联接板(18)、CCD支撑架(19)、水平微位移工作台(20)和竖直微位移工作台(21)，电机支撑架(2)的底端在水平工作台(1)上表面的一侧居中固定，电机支撑架(2)的顶端与电机联接板(3)固定连接，伺服电动机(4)置于电机联接板(3)上，伺服电动机(4)的输出轴穿过电机联接板(3)的中心孔通过联轴器(6)与滚珠丝杠(7)的顶端连接，滚珠丝杠(7)与滚珠丝母(8)相配合形成滚珠丝杠副，滚珠丝母(8)与丝母滑块(9)固定连接，丝母滑块(9)的一侧面与L形直线电机支撑板(10)的外侧面连接，丝母滑块(9)的另一侧面与直线导轨(11)上的导轨滑块(11-1)的外侧面连接，直线导轨(11)固定于电机支撑架(2)一个内侧面中段的居中位置，所述电机支撑架(2)一个内侧面上端的居中位置固定上轴承组件(12)，电机支撑架(2)一个内侧面下端的居中位置固定下轴承组件(5)，下轴承组件(5)与滚珠丝杠(7)的下端配合，上轴承组件(12)与滚珠丝杠(7)的上端配合；上轴承组件(12)的下端面与直线导轨(11)的上端面之间、直线导轨(11)的下端面与下轴承组件(5)的上端面之间和下轴承组件(5)的下端面与水平工作台(1)的上表面之间分别设有间隙；L形直线电机支撑板(10)的上表面与平板直线电机(13)的导轨相固定，平板直线电机(13)的载物台上固定光学元件夹具体(14)；水平工作台(1)的上表面与CCD支撑架(19)下表面滑动配合，CCD支撑架(19)上设置相互垂直固定连接的竖直微位移工作台(21)和水平微位移工作台(20)，水平微位移工作台(20)与L形CCD联接板(18)的一个侧面板固定连接，L形CCD联接板(18)的上表面放置CCD摄像头(17)；平板直线电机(13)和伺服电动机(4)的控制信号输入端分别连接两轴运动控制卡(15)的一个控制信号输出端，两轴运动控制卡(15)的两个控制信号输入端分别连接控制计算机(16)的一个控制信号输出端，控制计算机(16)的信号采集输入端连接CCD摄像头(17)的信号采集输出端。