[发明专利]光学晶体元件激光损伤阈值检测装置

权利要求书

1.一种光学晶体元件激光损伤阈值检测装置，其特征在于：它包括水平工作台(1)、电机支撑架(2)、电机联接板(3)、伺服电动机(4)、下轴承组件(5)、联轴器(6)、滚珠丝杠(7)、滚珠丝母(8)、丝母滑块(9)、L形直线电机支撑板(10)、直线导轨(11)、上轴承组件(12)、平板直线电机(13)、光学元件夹具体(14)、两轴运动控制卡(15)、控制计算机(16)、CCD摄像头(17)、L形CCD联接板(18)、CCD支撑架(19)、水平微位移工作台(20)和竖直微位移工作台(21)，

电机支撑架(2)的底端在水平工作台(1)上表面的一侧居中固定，电机支撑架(2)的顶端与电机联接板(3)固定连接，伺服电动机(4)置于电机联接板(3)上，伺服电动机(4)的输出轴穿过电机联接板(3)的中心孔通过联轴器(6)与滚珠丝杠(7)的顶端连接，滚珠丝杠(7)与滚珠丝母(8)相配合形成滚珠丝杠副，滚珠丝母(8)与丝母滑块(9)固定连接，L形直线电机支撑板(10)的一条边作为竖直段与所述滚珠丝杠(7)平行设置，L形直线电机支撑板(10)的另一条边作为水平段与所述水平工作台(1)平行设置，丝母滑块(9)的一侧面与所述L形直线电机支撑板(10)竖直段的外侧面连接，丝母滑块(9)的另一侧面与直线导轨(11)上的导轨滑块(11-1)的外侧面连接，所述丝母滑块(9)的一侧面与丝母滑块(9)的另一侧面为相对应的两个侧面，直线导轨(11)固定于电机支撑架(2)一个内侧面中段的居中位置，所述电机支撑架(2)的该内侧面上端的居中位置固定上轴承组件(12)，电机支撑架(2)的该内侧面下端的居中位置固定下轴承组件(5)，下轴承组件(5)与滚珠丝杠(7)的下端配合，上轴承组件(12)与滚珠丝杠(7)的上端配合；上轴承组件(12)的下端面与直线导轨(11)的上端面之间、直线导轨(11)的下端面与下轴承组件(5)的上端面之间和下轴承组件(5)的下端面与水平工作台(1)的上表面之间分别设有间隙；

所述L形直线电机支撑板(10)水平段的上表面与平板直线电机(13)的导轨相固定，平板直线电机(13)的载物台上固定光学元件夹具体(14)；

水平工作台(1)的上表面与CCD支撑架(19)下表面滑动配合，CCD支撑架(19)上设置相互垂直固定连接的竖直微位移工作台(21)和水平微位移工作台(20)，L形CCD联接板(18)的一条边作为竖直段与所述滚珠丝杠(7)平行设置，L形CCD联接板(18)的另一条边作为水平段与所述水平工作台(1)平行设置，水平微位移工作台(20)与L形CCD联接板(18)竖直段的外侧面固定连接，L形CCD联接板(18)的水平段上表面放置CCD摄像头(17)；

平板直线电机(13)和伺服电动机(4)的控制信号输入端分别连接两轴运动控制卡(15)的一个控制信号输出端，两轴运动控制卡(15)的两个控制信号输入端分别连接控制计算机(16)的一个控制信号输出端，控制计算机(16)的信号采集输入端连接CCD摄像头(17)的信号采集输出端。

2.根据权利要求1所述的光学晶体元件激光损伤阈值检测装置，其特征在于：所述下轴承组件(5)由下轴承座(5-1)、下轴承盖(5-2)、密封角接触推力球轴承(5-3)和轴端挡圈(5-4)组成，

下轴承组件(5)的下轴承座(5-1)固定于所述电机支撑架(2)的所述内侧面下端的居中位置，下轴承盖(5-2)与下轴承座(5-1)固定连接，密封角接触推力球轴承(5-3)的内圈通过轴端挡圈(5-4)与滚珠丝杠(7)的下端相配合固定，密封角接触推力球轴承(5-3)的外圈通过下轴承座(5-1)和下轴承盖(5-2)配合固定，下轴承组件(5)的下轴承座(5-1)的下端面与水平工作台(1)的上表面之间有间隙，下轴承组件(5)的下轴承座(5-1)的上端面与直线导轨(11)的下端面之间有间隙。