[发明专利]子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正与拼接新方法

摘要

子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正与拼接新方法，大口径非球面光学元件已成为起支撑作用的关键部件，与球面相比，非球面在矫正像差方面有更好的优势，本方法，其组成包括：花岗岩基座(1)，所述的基座(1)连接水平平台(2)和垂直平台(3)，所述的两个平台连接在空气装置(4)上，所述的水平平台内有一狭槽连接了一个空气轴承杆(5)，所述的空气轴承杆连接发动机和编码器，所述的空气轴承杆连接空气轴承(6)，连接干涉仪(7)，所述的干涉仪机架连接升降平台(8)，所述的升降平台连接垂直平台(9)，所述的升降平台内有陶瓷管(10)，陶瓷管连接空气轴承，本发明用于非球面机构偏置误差修正与非球面的拼接测量。

主权项

一种子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正与拼接新方法，其组成包括：花岗岩基座，其特征是：所述的花岗岩基座连接水平平台和垂直平台，所述的水平平台和垂直平台连接在空气装置上，所述的水平平台内有一狭槽，所述的狭槽中连接了一个空气轴承杆，所述的空气轴承杆连接发动机和编码器，所述的空气轴承杆连接空气轴承，所述的空气轴承连接干涉仪，所述的干涉仪机架连接升降平台(Z平台)，所述的升降平台用三个扁平的空气轴承连接在垂直平台上，所述的升降平台内有陶瓷管，所述的陶瓷管连接两个空气轴承，抑制平移和旋转相对于水平平台的移动。