[发明专利]移相干涉二次共焦软针孔探测装置与方法无效
| 申请号： | 200910071662.7 | 申请日： | 2009-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101520304A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;谭久彬;刘涛;赵晨光;王伟波 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 移相干涉二次共焦软针孔探测装置与方法属于超精密三维微细结构表面形貌测量领域；由显微物镜和CCD相机组成软针孔探测装置，通过移走测量表面，移动显微物镜和CCD相机确定收集物镜准焦面位置，定位CCD像面上爱里斑中心点位置，截取并锁定CCD像面上相应于不同显微放大倍数的固定像素区域作为软针孔，调整显微物镜和CCD相机使其对收集物镜会聚准焦面处横向光斑成清晰放大像，再加入被测表面，按照四步时间移相干涉二次共焦测量步骤完成具体微位移测量；本发明可提供灵活的等效针孔样式，有效降低实际共焦针孔的装调误差，提高移相干涉二次共焦点探测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 相干 二次 共焦软 针孔 探测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种移相干涉二次共焦软针孔探测装置，包括：激光器(1)、聚焦物镜(2)、照明针孔(3)、扩束准直物镜(4)、偏振分光镜(5)、四分之一波片(6)、普通分光镜(7)、平面反射镜(8)、第一微驱动器(9)、探测聚焦物镜(10)、第二微驱动器(11)、收集物镜(12)；其特征在于，所述装置还包括：显微物镜(13)和CCD相机(14)，调整显微物镜(13)和CCD相机(14)使其位于对收集物镜(12)会聚准焦面处横向光斑成清晰放大像位置，由显微物镜(13)和CCD相机(14)组成软针孔探测装置。
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