[发明专利]多线切割硅片的废旧料浆回收方法

摘要

本发明公开了一种多线切割硅片的废旧料浆回收方法，包括下述步骤：将回收的废旧料浆用切割液稀释至固体质量占20％-25％；用连续离心分离法将6微米以粗的碳化硅刃料颗粒分离；用压榨机将剩余含有6微米以细的碳化硅微粉和硅微粉的切割液料浆压榨成滤饼；用微波对上述滤饼进行干燥；用气流分级机对滤饼进行碳化硅微粉和硅微粉的分级处理；将压榨出的切割液和切割液蒸汽用过滤机进行过滤后用活性白土吸附剂对其中的残余杂质进行吸附除杂后经脱水、脱色灌装回收。本发明优点在于对废旧料浆的处理中，整个生产过程无任何污染，不消耗水，节约能耗70％以上，产品回收率高达98％以上。

主权项

1、一种多线切割硅片的废旧料浆回收方法，其特征在于：它包括下述步骤：第一步：将回收的废旧料浆用聚乙二醇切割液稀释至固体质量占20％-25％；第二步：采用连续离心分离法将6微米以粗的碳化硅刃料颗粒分离出来；第三步：采用带式压榨机将剩余含有6微米以细碳化硅微粉和硅微粉的切割液料浆压榨成滤饼，滤饼的含液量小于15％；第四步：采用微波对上述滤饼进行干燥，同时用溶剂回收塔对干燥时产生的蒸汽进行回收；第五步：采用气流分级机对第四步干燥后的滤饼进行碳化硅微粉和硅微粉的分级处理；第六步：将第三步中压榨出的切割液和第四步中回收的切割液蒸汽用过滤机进行过滤，然后用活性白土吸附剂对其中的残余杂质进行吸附；吸附出的杂质还原给上述滤饼进行干燥分级，除杂后的切割液经脱水、脱色后灌装回收利用。