[发明专利]一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置有效
| 申请号： | 200910062209.X | 申请日： | 2009-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN101565184A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 曾南;谢文成;吴学林 | 申请（专利权）人： | 宜昌南玻硅材料有限公司;东莞南玻陶瓷科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06;F16J15/10 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 | 代理人： | 成 钢 |
| 地址： | 443000湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法，涉及一种多晶硅生产用氢化炉电极装置，通过在电极内连接冷却循环水，并采用特种氧化锆陶瓷、柔性石墨和氟橡胶材质的O形密封圈等多种材料分别解决电极和底盘之间的耐高温、绝缘和密封问题，提高了氢化炉装置的可靠性，保障了氢化炉装置的安全运行，提高了氢化炉装置的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产 氢化 装置 电极 密封 方法 | ||
【主权项】：
1、一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法，其特征在于：在电极(1)与底盘(14)之间通过设置氧化锆陶瓷密封装置、柔性石墨垫圈和O型密封圈来共同实现耐高温、绝缘和密封，旋紧不锈钢螺母(10)，电极(1)与底盘(14)和玻璃纤维衬套(9)拉紧，使柔性石墨垫圈、O型密封圈和聚四氟乙烯垫环(7)压紧变形来形成密封，同时在电极(1)内通入冷却水。
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