[发明专利]一种测量范围可扩展的调焦调平装置及调焦调平方法

摘要

一种测量范围可扩展的调焦调平装置，该装置包括：光源；光学投影单元，接收光源发出的光并将其照射到被测硅片表面形成测量光斑矩阵W；光学接收单元，接收由被测硅片反射的光；光学调制单元，具有扫描反射镜，所述扫描反射镜在测量调平时作正弦振动；接收狭缝面，该狭缝面上具有与硅片上的各个光斑一一对应的狭缝的狭缝矩阵S，经由扫描反射镜反射的光斑成像于该接收狭缝面上；光电探测器，将穿过狭缝的光能量信号转化为电信号；控制单元，对光电探测器输出的电信号进行分析处理；其中，在接收狭缝面上还具有位于狭缝矩阵边缘的扩展狭缝，用于扩展调焦调平装置的测量范围。本发明还公开了使用该装置进行调焦调平的方法。

主权项

一种测量范围可扩展的调焦调平装置，该装置包括光源；光学投影单元，接收光源发出的光并将其照射到被测硅片表面形成测量光斑矩阵W；光学接收单元，接收由被测硅片反射的光斑；光学调制单元，其具有扫描反射镜，所述扫描反射镜在测量调平时作正弦振动；接收狭缝面，该狭缝面上具有与硅片上的各个光斑一一对应的狭缝的狭缝矩阵S，经由扫描反射镜反射的光斑成像于该接收狭缝面上；光电探测器，将穿过狭缝的光能量信号转化为电信号；控制单元，对光电探测器输出的电信号进行分析处理；其特征在于，在接收狭缝面上还具有位于狭缝矩阵边缘的扩展狭缝，用于扩展调焦调平装置的测量范围。