[发明专利]确定EM测试结构中加速因子的方法有效
| 申请号： | 200910057429.3 | 申请日： | 2009-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN101923124A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 张会锐;陈建钢 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/28;G01R27/02;G01R27/08 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种确定EM测试结构中加速因子的方法，1.在炉温升温过程中采用不会使EM结构产生焦耳热的电流测量EM测试结构的电阻温度系数；2.当炉温升温到预设的温度后，在至少三组电流条件下进行电流加速，其中至少有两组能使EM测试结构产生不同焦耳热，测量EM测试结构在不同电流条件下的电阻值；3.根据电阻温度系数和电阻值计算EM测试结构在不同电流条件下的实际温度；4.进行EM实验，实验结束后采集每组实验条件下的中位寿命；5.利用EM测试结构的实际温度值和电流条件和中位寿命，根据black方程计算加速因子。本发明能降低测量EM测试结构的两个加速因子Ea和N的成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 em 测试 结构 加速 因子 方法 | ||
【主权项】：
一种确定EM测试结构中加速因子的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在炉温升温过程中采用不会使EM结构产生焦耳热的电流测量EM测试结构的电阻温度系数；2)当炉温升温到预设的温度后，在至少三组电流条件下进行电流加速，其中至少有两组能使EM测试结构产生不同焦耳热，测量EM测试结构在上述不同电流条件下的电阻值；3)根据电阻温度系数和电阻值计算EM测试结构在不同电流条件下的实际温度；4)进行EM实验，实验结束后采集每组实验条件下的中位寿命；5)利用步骤3)中得到的EM测试结构的实际温度值和电流条件和步骤4)中得到的中位寿命，根据black方程计算加速因子。
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