[发明专利]确定EM测试结构中加速因子的方法

权利要求书

1.一种确定EM测试结构中加速因子的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)在炉温升温过程中采用不会使EM结构产生焦耳热的电流测量EM测试结构的电阻温度系数；

2)当炉温升温到预设的温度后，在至少三组电流条件下进行电流加速，其中至少有两组能使EM测试结构产生不同焦耳热，测量EM测试结构在上述不同电流条件下的电阻值；

3)根据电阻温度系数和电阻值计算EM测试结构在不同电流条件下的实际温度；

4)进行EM实验，实验结束后采集每组实验条件下的中位寿命；

5)利用步骤3)中得到的EM测试结构的实际温度值和电流条件和步骤4)中得到的中位寿命，根据black方程计算加速因子。

2.根据权利要求1所述的确定EM测试结构中加速因子的方法，其特征在于，步骤1)中通过在炉温升温过程中测量多组EM测试结构的电阻，并结合温度计算EM测试结构的电阻温度系数。

3.根据权利要求1所述的确定EM测试结构中加速因子的方法，其特征在于，当步骤2)中在至少四组电流条件下进行电流加速，并且有至少三组能使EM测试结构产生焦耳热时，步骤5)中计算加速因子之前先检测和去除孤立点。

4.根据权利要求3所述的确定EM测试结构中加速因子的方法，其特征在于，步骤5)中采用数值解析方法检测和去除孤立点。

5.根据权利要求1所述的确定EM测试结构中加速因子的方法，其特征在于，步骤1)中电流小于0.1mA。

6.根据权利要求1所述的确定EM测试结构中加速因子的方法，其特征在于，步骤2)中电流密度大于1MA/cm²。