[发明专利]湿法晶圆清洗方法无效
| 申请号： | 200910057110.0 | 申请日： | 2009-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101869895A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 陈华伦;陈雄斌;陈瑜;熊涛;罗啸 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 王函 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种湿法晶圆清洗方法，包括如下步骤：(1)晶圆送入清洗槽；(2)舱门关闭；(3)通入热氮气，同时电机带动晶圆开始旋转，直到晶圆的温度达到指定温度；(4)药液通过喷嘴进入清洗槽进行清洗，晶圆保持旋转；(5)药液清洗完成后喷嘴喷入去离子水以置换出已使用的药液，晶圆保持旋转；(6)残留药液置换完成后通入热氮气，同时电机带动晶圆加速旋转进行甩干；(7)甩干完成，晶圆送出。该方法既可以提高药液的利用率，减少浪费，还可以缩短工艺时间，提高湿法清洗效率，实现节能减排。 | ||
| 搜索关键词： | 湿法 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种湿法晶圆清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)晶圆送入清洗槽；(2)舱门关闭；(3)通入热氮气，同时电机带动晶圆开始旋转，直到晶圆的温度达到指定温度；(4)药液通过喷嘴进入清洗槽进行清洗，晶圆保持旋转；(5)药液清洗完成后喷嘴喷入去离子水以置换出已使用的药液，晶圆保持旋转；(6)残留药液置换完成后通入热氮气，同时电机带动晶圆加速旋转进行甩干；(7)甩干完成，晶圆送出。
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