[发明专利]等光程五面视觉检测技术无效
| 申请号： | 200910056450.1 | 申请日： | 2009-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN101650155A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 张健欣;胡俊韡 | 申请（专利权）人： | 秦拓微电子技术（上海）有限公司;张健欣;胡俊韡 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/30;G01B11/02;G01N21/84;G01N21/88;G02B27/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201206上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是一种新的视觉检测技术，可以对IC元器件1进行视觉外观检测。重点包括：1.利用偏振分光棱镜21的偏光特性及折射特性，改善图像。2.通过反射系统的调整，根据元器件的尺寸进行视场的缩放。3.一组光源31和另一组光源32对需求不同的检测面41，42、43、44、45进行照射。4.利用镀膜玻璃22的单面反射性质进行成像。利用偏振分光棱镜不仅能对光路进行起偏，达到改善图像的作用，而且能够使不同的检测面41，42、43、44、45与中央图像46的视在光程相同。这样就用一个相对简便的方法实现了多面图像优化。 | ||
| 搜索关键词： | 光程 视觉 检测 技术 | ||
【主权项】：
1.一种对电子元器件进行视觉外观检测的系统：所述用于显示电子元器件1的中央图像41，以及同一物体至少一个横侧面图像42，43，44，45的光学系统。选用偏振分光棱镜21作为折射及偏振装置，该棱镜有良好的起偏性能。同时又具有理想的折射率。镀膜玻璃22能够让侧面强定向聚光源光源31射入，而把横侧面图像42，43，44，45的绝大部分光反射入相机1。光源32能够使相机能够得到清晰的金属轮廓和凹凸缺陷。强定向聚光源31能够给予电子元器件1良好的照明而不对中央图像41产生影响。中央图像41的视在光程长度和至少一个横侧面图像42，43，44，45的视在光程长度相等。
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