[发明专利]等光程五面视觉检测技术

权利要求书

1.一种对电子元器件进行视觉外观检测的系统：所述用于显示电子元器件1的中央图像41，以及同一物体至少一个横侧面图像42，43，44，45的光学系统。

选用偏振分光棱镜21作为折射及偏振装置，该棱镜有良好的起偏性能。同时又具有理想的折射率。

镀膜玻璃22能够让侧面强定向聚光源光源31射入，而把横侧面图像42，43，44，45的绝大部分光反射入相机1。

光源32能够使相机能够得到清晰的金属轮廓和凹凸缺陷。

强定向聚光源31能够给予电子元器件1良好的照明而不对中央图像41产生影响。

中央图像41的视在光程长度和至少一个横侧面图像42，43，44，45的视在光程长度相等。

2.根据权利要求1中所述的任一项光学系统中，偏振分光棱镜21的折射系数大于空气的折射系数。

3.根据权利要求1中所述的任一项光学系统中，偏振分光棱镜21将通过它的转变为偏振光。

4.根据权利要求1中所述的任一项光学系统中，偏振分光棱镜21将至少一个的横侧面图像42，43，44，45向中央图像靠拢。

5.根据权利要求1中所述的任一项光学系统中，镀膜玻璃22包括镀银、铝、PVC等材料。

6.根据权利要求1中所述的任一项光学系统中，中央图像46的光程和所述至少一个横侧面图像42，43，44，45的光程中一部分折射率n不同。

7.根据权利要求1中所述的任一项光学系统中，所述至少一个横侧面图像的实际光程长度和所述至少一个横侧面图像的视在光程差由偏振分光棱镜的厚度所决定。

8.根据权利要求1中所述的任一项光学系统中，中央图像46与至少一个横侧面图像42，43，44，45的间距由尼克尔棱镜21的厚度，和镀膜玻璃22与IC元器件的距离所决定。

9.根据权利要求1中所述的任一项光学系统，相机1能够同时拍摄电子元器件1的中央图像46和至少一个的横侧面图像42，43，44，45。

10.根据权利要求1中所述的任一项光学系统，它检测的对象1是包括集成电路模块等的电子元器件7。