[发明专利]大口径ZnS红外窗口的镀膜方法有效
申请号: | 200910055158.8 | 申请日: | 2009-07-21 |
公开(公告)号: | CN101956157A | 公开(公告)日: | 2011-01-26 |
发明(设计)人: | 周东平;赵培 | 申请(专利权)人: | 上海欧菲尔光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/24;C23C14/18 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 杨元焱 |
地址: | 200434 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种大口径ZnS红外窗口的镀膜方法,该方法在镀制光学薄膜前,先在其对面镀制一层传热工艺膜,利用传热工艺膜的优良的导热性,把热量在ZnS窗口内部的传导变为外部传导,根本上解决了ZnS材料导热性能差的问题,很好地解决了ZnS窗口光学薄膜膜层不均匀性的问题。 | ||
搜索关键词: | 口径 zns 红外 窗口 镀膜 方法 | ||
【主权项】:
一种大口径ZnS红外窗口的镀膜方法,其特征在于,包括以下措施和步骤:a、清洁ZnS窗口,去除表面的油渍与灰尘;b、在ZnS窗口的一个面镀制一层传热工艺膜;c、清洁ZnS窗口的另一个面,去除表面的油渍与灰尘;d、在ZnS窗口的已清洁的面镀制按要求设计的一层或多层光学薄膜;e、利用去膜液去除ZnS窗口的传热工艺膜;f、在ZnS窗口已镀的光学薄膜上镀制一层传热工艺膜;g、清洁ZnS窗口未镀膜面,去除表面的油渍与灰尘;h、在ZnS窗口的未镀膜面镀制按要求设计的一层或多层光学薄膜;i、利用去膜液去除ZnS窗口的传热工艺膜;j、清洁ZnS窗口。
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