[发明专利]一种开发和筛选相变存储材料的方法无效
申请号: | 200910053519.5 | 申请日: | 2009-06-19 |
公开(公告)号: | CN101626061A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
发明(设计)人: | 张挺;宋志棠;刘波;封松林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 上海泰能知识产权代理事务所 | 代理人: | 黄志达;宋 缨 |
地址: | 200050*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种开发和筛选相变存储材料的方法,包括下列步骤:(1)在单一的基底上制备出至少2个成份的相变材料组份;(2)采用激光对数据进行处理、编程和数据读取,从而获得基底上的各种组份相变材料的性能;(3)通过得到的各种相变材料组份性能的比较,获得优化组份,并绘制相变材料精细相图。本发明提供表征相变存储材料材料芯片的方法,获得各个相变材料组份的相变速率和相变功耗,高效地开发、筛选高性能存储材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 开发 筛选 相变 存储 材料 方法 | ||
【主权项】:
1.一种开发和筛选相变存储材料的方法,其特征在于,包括下列步骤:(1)在单一的基底上制备出至少2个成份的相变材料组份;(2)采用激光对相变材料进行处理、编程和数据读取,从而获得基底上的各种组份的相变材料的性能;(3)通过得到的各种相变材料组份性能的比较,获得优化组份,并绘制相变材料精细相图。
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