[发明专利]叠对误差补偿方法有效
| 申请号： | 200910052189.8 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101900945A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 朱萍花;彭震君;张岩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种叠对误差补偿方法，用于双平台曝光机台中，其利用所述曝光机台的两个工作平台的叠对补偿值之差补偿其中叠对误差较大的工作平台。从而在减小两个工作平台之间的叠对控制差异的同时，将工作平台的叠对误差控制在一个所需的范围内，提高了半导体器件的性能以及出产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 误差 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种叠对误差补偿方法，用于双平台曝光机台中，其特征是，包括：利用所述曝光机台的两个工作平台的叠对补偿值之差补偿其中叠对误差较大的工作平台。
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