[发明专利]可测量任意方向角速度的气体陀螺仪无效
| 申请号： | 200910049876.4 | 申请日： | 2009-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101556290A | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;孙健;张冠;陈少军;高阳 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01P9/00 | 分类号： | G01P9/00;G01K7/22;B81B7/02;B81C5/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明是一种微机电技术领域可测量任意方向角速度的气体陀螺仪。包括：硅芯片、压电泵和上TBN层、下TBN层，硅芯片为立体空腔结构，压电泵采用压电陶瓷泵，上TBN层、下TBN层分别封设在硅芯片的上下表面，构成一个密封结构，该密封结构内充满惰性气体，压电泵固设在硅芯片内部空腔中。本发明增加了热敏电阻丝的数量，从而可以测量各个方向的角速度，扩大了测量范围；同时，由于采用体硅工艺制作，在降低成本的同时，使得陀螺仪可以方便地集成在集成电路上。 | ||
| 搜索关键词： | 可测量 任意 方向 角速度 气体 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1、一种可测量任意方向角速度的气体陀螺仪，其特征在于，包括：硅芯片、压电泵和上TBN层、下TBN层，硅芯片为立体空腔结构，压电泵采用压电陶瓷泵，上TBN层、下TBN层分别封设在硅芯片的上下表面，构成一个密封结构，该密封结构内充满惰性气体，压电泵固设在硅芯片内部空腔中。
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