[发明专利]边缘曝光调整装置

摘要

本发明提出一种边缘曝光调整装置包括支座、镜筒支架和调整螺栓。支座底面包括三个垫片，这三个垫片不位于同一直线上，支座通过这三个垫片放置在固定平台上。镜筒支架的一端通过直线导轨可滑动地设置于支座内，其另一端套接镜筒，镜筒可转动地设置在镜筒支架的另一端内。直线导轨包括固定在支座上的导轨和固定在镜筒支架上并且可滑动地设置在导轨上的滑块。调整螺栓沿x轴方向穿过支座和镜筒支架，调整螺栓具有调整部和第一螺纹，镜筒支架具有第二螺纹，第一螺纹和第二螺纹对应配合，其中当转动调整部，镜筒支架带动镜筒沿x轴方向移动。本发明提出的边缘曝光调整装置能够实现调平、x轴向调整和Rz轴旋转调整，其结构简单、精度高、调整方便。

主权项

1. 一种边缘曝光调整装置，用以在边缘曝光过程中调整镜筒相对于硅片的位置，其特征是，包括：支座，其底面包括三个垫片，这三个垫片不位于同一直线上，该支座通过这三个垫片放置在固定平台上；镜筒支架，其一端通过直线导轨可滑动地设置于该支座内，其另一端套接该镜筒，该镜筒可转动地设置在该镜筒支架的另一端内，其中该直线导轨包括：导轨，固定在该支座上；滑块，固定在该镜筒支架上并且可滑动地设置在该导轨上；以及调整螺栓，该调整螺栓沿x轴方向穿过该支座和该镜筒支架，该调整螺栓具有调整部和第一螺纹，该镜筒支架具有第二螺纹，该第一螺纹和该第二螺纹对应配合，其中当转动该调整部，该镜筒支架带动该镜筒沿x轴方向移动。