[发明专利]反磁悬浮振动微陀螺

摘要

本发明涉及一种微机电技术领域的反磁悬浮振动微陀螺，包括反磁悬浮振子、上定子、下定子、水平检测驱动电极，上定子包括上极板、上永磁体块，下定子包括下极板、下永磁体块，水平检测驱动电极环绕分布在反磁悬浮振子的周围的同一个平面内，上定子的上永磁体块在上极板上方，下定子的下永磁体块在下极板的下方；所有电极关于反磁悬浮振子中心对称分布。利用反磁悬浮振子在一定频率下的参考振动作为工作状态，当外界有垂直方向角速度输入时，会产生柯氏力，使反磁悬浮振子发生位移偏移，产生电势。从而通过检测输出电极上的电压信号检测外界的输入角速度。本发明结构简单，加工工艺简单，精度高，成本低。

主权项

1、一种反磁悬浮振动微陀螺，包括反磁悬浮振子、上定子、下定子、水平检测驱动电极，其特征在于，上定子包括上极板、上永磁体块，下定子包括下极板、下永磁体块，反磁悬浮振子放置在上定子的上极板、下定子的下极板之间，水平检测驱动电极环绕分布在反磁悬浮振子的周围的同一个平面内，上定子的上永磁体块在上极板上方，下定子的下永磁体块在下极板的下方；其中：所述上极板上设置八个轴向检测驱动电极和一个中央公共电极，中央公共电极为截面为正方形的扁平立方体，它有上下两个平行的正方形，四个长方形侧面，其中一个正方形面面对反磁悬浮振子，周围的八个轴向检测驱动电极均匀分布在中央公共电极的四周，对应中央公共电极的正方形的每条侧边处的长方形侧面，沿正方形边长方向一分为二对应分布两个长方体轴向检测驱动电极；所述下极板上设置八个轴向检测驱动电极和一个中央公共电极，中央公共电极为截面为正方形的扁平立方体，它有上下两个平行的正方形，四个长方形侧面，其中一个正方形面面对反磁悬浮振子，并且其两个正方形面分别与上极板中央公共电极的正方形面对应平行，即空间上同轴平行于上极板中央公共电极，周围的八个轴向检测驱动电极均匀分布在中央公共电极的四周，对应中央公共电极的正方形的每条侧边处的长方形侧面，沿正方形边长方向一分为二对应分布两个长方体轴向检测驱动电极，且下定子中央公共电极的两个正方形面分别与上定子中央公共电极的正方形面对应平行，并且下定子中央公共电极的两个正方形面的四条边也与上定子中央公共电极的正方形面的四条边对应平行，即上下极板中央公共电极完全同轴平行。