[发明专利]一种压印模板无效
| 申请号： | 200910044950.3 | 申请日： | 2009-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN101770165A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 刘彦伯;钮晓鸣;宋志棠;闵国全;周伟民;张静;万永中;张挺;李小丽;张剑平;施利毅;刘波;封松林 | 申请（专利权）人： | 上海市纳米科技与产业发展促进中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200237上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种廉价的压印模板，属于微纳制造领域。其特征在于：在硬质基底表面覆盖图形化材料层，先将图形化材料层图形化，然后对图形化表面修饰处理，之后直接用作压印模板。这种压印硬模板制作方法与目前常用的电子束直写等技术方法相比，具有成本低、周期短、工艺简单的显著特点。可以广泛应用于纳米级、高密度表面纳米结构加工与研究中，在半导体照明、高密度存储等领域前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压印 模板 | ||
【主权项】：
一种廉价的压印模板，其特征是：在硬质基底表面覆盖图形化层，先将图形化层图形化，然后对图形化材料表面修饰处理，之后直接作压印工艺中的压印模板。
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