[发明专利]超声喷雾隧道炉及用于制备大面积二氧化锡透明导电膜的方法无效
| 申请号： | 200910043342.0 | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101566430A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 羊亿;彭星煜;李广 | 申请（专利权）人： | 湖南师范大学 |
| 主分类号： | F27B9/02 | 分类号： | F27B9/02;F27B9/12;F27B9/24;F27B9/30;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 长沙星耀专利事务所 | 代理人： | 赵静华 |
| 地址： | 410081湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超声喷雾隧道炉及用于制备大面积二氧化锡透明导电膜的方法。超声喷雾隧道炉包括加热区、工作区、退火保温区三个区域，设置在工作区衬底材料上方的喷嘴，与喷嘴连接的超声起雾器，所述喷嘴上端设有5～30个雾气进气管道，喷嘴靠近隧道炉出口一侧设有废气排出通道，在废气排出通道的上方设有5-30废气排出管道，废气排出管道与抽气泵连接。本发明可使雾气在喷嘴内均匀喷出，成膜均匀；可降低喷嘴内温度，可减少大颗粒雾膜的生成；可有助于废气排出及制备出均匀、表面光滑的薄膜并可降低HCl对网带的腐蚀；其升降装置有助于调整喷嘴与衬底表面距离，获得最佳沉积参数。采用网带传送，结构简单，适合工业化流水线生产。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 喷雾 隧道 用于 制备 大面积 氧化 透明 导电 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超声喷雾隧道炉，包括加热区、工作区、退火保温区三个区域，设置在工作区衬底材料上方的喷嘴，与喷嘴连接的超声起雾器，其特征在于，所述喷嘴上端设有5～30个雾气进气管道，喷嘴靠近隧道炉出口一侧设有废气排出通道，在废气排出通道的上方设有5-30废气排出管道，废气排出管道与抽气泵连接。
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