[发明专利]超声喷雾隧道炉及用于制备大面积二氧化锡透明导电膜的方法

权利要求书

1.一种超声喷雾隧道炉，包括加热区、工作区、退火保温区三个区域，设置在工作区衬底材料上方的喷嘴，与喷嘴连接的超声起雾器，其特征在于，所述喷嘴上端设有5～30个雾气进气管道，喷嘴靠近隧道炉出口一侧设有废气排出通道，在废气排出通道的上方设有5-30废气排出管道，废气排出管道与抽气泵连接。

2.根据权利要求1所述的一种超声喷雾隧道炉，其特征在于，在隧道炉内装有辊，在辊上设有用于传送衬底材料的传送网带。

3.根据权利要求1所述的一种超声喷雾隧道炉，其特征在于，所述喷嘴呈楔形，下端出口处设有比上端小的收口。

4.根据权利要求1所述的一种超声喷雾隧道炉，其特征在于，所述喷嘴外部设有喷嘴保温层、喷嘴四周设有喷嘴水冷却层。

5.根据权利要求1所述的一种超声喷雾隧道炉，其特征在于，每个雾气进气管道和废气排出管道均接有流量计。

6.根据权利要求1所述的一种超声喷雾隧道炉，其特征在于，所述喷嘴带有控制与衬底材料表面距离的升降装置。

7、一种权利要求1所述超声喷雾隧道炉用于制备大面积透明二氧化锡导电膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：

包括以下步骤：

(1)按现有技术配制F/Sn摩尔百分比为1％～10％的溶液；装入与喷嘴连接的超声起雾器起雾；

(2)衬底材料由传送网带携带进入隧道炉，在加热区加热升温；

(3)衬底材料由传送网传送进入工作区，将温度恒定在300℃～500℃，喷嘴将起雾后的雾气均匀喷洒在衬底材料上形成二氧化锡透明导电膜，反应后的废气由抽气泵从废气排出管道抽出；

(4)衬底材料由传送网带送入退火保温区退火降温。