[发明专利]纳米复合钛硅氮化物刀具涂层及其制备方法无效
| 申请号： | 200910038284.2 | 申请日： | 2009-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101851738A | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 袁安素;王成勇;余东海 | 申请（专利权）人： | 东莞瀚晶纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 吴世民 |
| 地址： | 523000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种纳米复合钛硅氮化物刀具涂层，涂层配方如下：钛30-68at.％、硅2-20at.％、氮30-50at.％。用本配方制成的钛硅氮化物涂层，其各成分总和应为100％。使用本发明制成的刀具，其抗机械磨损性能和抗磨料磨损性能均有大幅度提高，可以满足现代化工业对合金刀具更好性能的需求，有巨大的市场潜力和切实的使用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 复合 氮化物 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米复合钛硅氮化物刀具涂层，其特征是：涂层配方如下：钛30-68at.％硅2-20at.％氮30-50at.％用本配方制成的钛硅氮化物涂层，其各成分总和应为100％；涂层刀具的镀膜步骤为：将经预处理后的未涂层刀具均匀固定在支架上，间距大于等于10mm，装入镀膜机中，调节工件支架转速为10-20rpm，抽至本底真空2.5～3.0×10-3Pa，同时打开加热器，升温至300-500℃；打开Ar气流量阀，调节真空室约为0.3-0.4Pa，基体加负偏电压290-310V，进行辉光溅射清洗9-11min，溅射功率7kw；随后开启极离子枪，以Ti离子高能轰击基体3-5分钟以活化基体表面；然后降低基体偏电压至200-260V，同时打开N2气流量阀，在流量200-300sccm、温度400-500℃、工作压力0.7-0.9Pa条件下，沉积TiN过渡层9-11min；根据通入反应气体N2，沉积涂层，沉积时间保持在100-120min；完成镀膜后，刀具随炉降温至170℃后取出常温冷却即可。
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