[发明专利]多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法有效
| 申请号： | 200910030342.7 | 申请日： | 2009-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101592627A | 公开（公告）日： | 2009-12-02 |
| 发明（设计）人： | 苏瑞巩;张蓓蓓;李宁;程国胜 | 申请（专利权）人： | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;B81C1/00;H01L21/336;B82B3/00;B81C5/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215125江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法，首先基于SOI硅片采用自上而下方法制作硅纳米线FET场效应管；继而利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作出多微流体通道；最后对不同微流体通道中的硅纳米线进行修饰改性，使之修饰上不同的检测抗体或小分子，以检测不同的目标分子。该方法制作的传感器可以用来同时检测不同类型的疾病相关因子(如DNA，RNA，蛋白等)或病毒，具有高灵敏度、稳定、易于集成等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 灵敏 生物 传感器 制作 集成 方法 | ||
【主权项】：
1.多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法，其特征在于：包括以下步骤——(一)基于SOI硅片采用自上而下方法制作硅纳米线FET场效应管；(二)利用聚二甲基硅氧烷制作出多微流体通道；(三)对不同微流体通道中的硅纳米线进行修饰改性，使之修饰上不同的检测抗体或小分子，以检测不同的目标分子。
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