[发明专利]异丙醇蒸汽清洗干燥装置

摘要

本发明公开了一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，氮气供气装置输出的氮气经过第一过滤器分成两条支路，第一条支路依次经过第一减压阀、第一气动阀和第一流量计，最终到达异丙醇喷头，另一条支路分别依次经过第二减压阀、第二流量计和第二气动阀，最终到达异丙醇槽，并将异丙醇槽内的异丙醇液体通过第三气动阀、第二过滤器、第三流量计和第四气动阀，压入异丙醇喷头，异丙醇槽连接有一安全阀；异丙醇喷头和加热灯固设于工作腔内，料盒固设于固定支架上，固定支架可移动定位于工作腔内，工作腔内还固设有异丙醇浓度检测报警仪、排气装置和导流管，此装置结构简单，操作方便，清洁效率高，玻璃晶圆表面清洗的均匀又彻底，干燥后表面无干燥纹。

主权项

一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为：包括氮气供气装置(1)、第一过滤器(2)、第一减压阀(3)、第一气动阀(4)、第一流量计(5)、异丙醇喷头(6)、第二减压阀(7)、第二气动阀(8)、第二流量计(9)、异丙醇槽(10)、第三气动阀(11)、第二过滤器(12)、第三流量计(13)、第四气动阀(14)、安全阀(15)、工作腔(16)、料盒(17)、固定支架(18)、加热灯(19)、异丙醇浓度检测报警仪(20)、排气装置(21)和导流管(22)，以使用方向为基准，氮气供气装置(1)的出气端与第一过滤器(2)进气端连接，第一过滤器(2)出气端分成两条支路，第一条支路依次串联了第一减压阀(3)、第一气动阀(4)和第一流量计(5)，最终与异丙醇喷头(6)的进气端连接，另一条支路分别依次串联了第二减压阀(7)、第二流量计(9)和第二气动阀(8)，最终与异丙醇槽(10)的进气端连接，异丙醇槽(10)的出液端分别依次串联了第三气动阀(11)、第二过滤器(12)、第三流量计(13)和第四气动阀(14)，最终与异丙醇喷头(6)的进液端连接，异丙醇槽(10)连接有一安全阀(15)；异丙醇喷头(6)和加热灯(19)固设于工作腔(16)内上端，异丙醇喷头(6)出气端朝向工作腔(16)内侧，料盒(17)固设于固定支架(18)上，固定支架(18)可移动定位于工作腔(16)内，工作腔(16)内固设有异丙醇浓度检测报警仪(20)和排气装置(21)，工作腔(16)体下方设有导流管(22)。