[发明专利]一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构无效
| 申请号： | 200910022792.1 | 申请日： | 2009-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN101651065A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;王政;李祥;尹明 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H1/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 100084北京市100*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构，利用微加工技术，在衬底表面制作出带有浮栅的桥式开关结构，通过对驱动电压的设置，对浮栅进行电子注入或抽取，从而实现在没有外加电压的情况下，开关能够自行保持闭合或者断开状态即双稳态，实现了双稳态的开关，且静态功耗较小的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 电极 双稳态 式微 机电 开关 结构 | ||
【主权项】：
1.一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构，包括一衬底(10)，其特征在于，衬底(10)上设置有由信号传输线(8)及地线(9)共同组成的需要开关的信号通路；信号传输线(8)上设置有绝缘介质(7)；地线(9)上设置有由支撑梁(2)及桥式结构梁(1)组成的上电极结构；衬底(10)上还设置有下电极(3)；下电极(3)上设置有隧穿介质(4)；隧穿介质(4)中设置有浮栅(5)；隧穿介质(4)上设置有钝化介质(6)。
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