[发明专利]利用吸收光谱法检测气体的装置

摘要

本发明公开了一种测量样本气体中预选气体的浓度的装置。该装置包括具有中心轴(74)和壳体(80A、80B)的赫里奥特型多程室(10)，壳体环绕轴并与轴间隔开以提供管状的样本腔(84)。通过轴两端的孔(154、156)泵送样本气体穿过样本腔。第一反射镜(44)与第二反射镜(46)支撑在轴的两端。提供光源(如激光或LED)用于发射光束，光束经过第一反射镜中的入口孔(30)射入到样本腔中，光束波长为预选气体的强吸收波长。光束在经过第二反射镜中的出口孔(48)射出多光径室并与检测器(52)碰撞之前，在反射镜之间反射若干次。

主权项

1. 一种用于测量样本气体中的预选气体的浓度的室，包括：轴，具有前端和后端；壳体，围绕所述轴并与所述轴的外表面隔开，提供环形吸收区域；泵，用于使所述样本气体通过所述吸收区域；第一环形反射镜，支撑在所述轴的第一端上，在所述第一环形反射镜中具有入口孔；第二环形反射镜，支撑在所述轴的第二端上，在所述第二环形反射镜中具有出口孔；光源，支撑在所述第一反射镜的前方，当受到激励时，产生光束，所述光束穿过所述入口孔，进入所述环形吸收区域，以在所述反射镜之间反复地反射，所述光束在多次反射后，通过所述出口孔射出；第一光电检测器，用于指示进入所述入口孔的所述光束的强度；第二光电检测器，支撑在所述第二反射镜的后方，与所述出口孔对准，以接受所述光束的碰撞；以及连接到所述第一和第二光电检测器的装置，通过所述装置测量所述光束的吸收，从而通过所述装置可以确定所述样本气体中的所述预选气体的浓度。