[发明专利]等离子功率供给装置有效
| 申请号： | 200880130900.0 | 申请日： | 2008-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102132481A | 公开（公告）日： | 2011-07-20 |
| 发明（设计）人： | T·基希迈尔 | 申请（专利权）人： | 许廷格电子两合公司 |
| 主分类号： | H02M7/5383 | 分类号： | H02M7/5383;H03K17/16 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有DC供电装置和与所述DC供电装置连接的开关电桥(12)的HF功率放大器装置(11)，所述开关电桥(12)包含两个至少间接地串联的开关元件(S1，S2)并且所述开关电桥的中点(M)形成开关电桥输出端，其中，第一开关元件(S1)是通过主动的控制信号发生器控制的，设有用于由于所述第一开关元件(S1)的工作状态改变而产生用于第二开关元件(S2)的控制信号的辅助电路。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 功率 供给 装置 | ||
【主权项】：
用于产生具有高于3MHz的频率和高于500W的功率的HF信号的等离子功率供给装置，包括一HF功率放大器装置(11)，所述HF功率放大器装置(11)具有一DC供电装置和一与所述DC供电装置连接的开关电桥(12)，所述开关电桥(12)包含两个至少间接地串联的开关元件(S1，S2)并且所述开关电桥的中点(M)形成开关电桥输出端，其中，第一开关元件(S1)是通过一主动的控制信号发生器控制的，其特征在于，设有用于由于所述第一开关元件(S1)的工作状态改变而产生用于第二开关元件(S2)的控制信号的辅助电路。
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