[发明专利]用于超声波键合的方法和设备

摘要

本发明涉及超声波键合时用于质量控制的方法，其中使用转换器-键合刀具单元和超声波发生器，并且其中在键合期间通过一个或多个传感器采集一个或多个在键合期间变化的参数来判断键合质量和/或影响键合，并且作为优选的扩展建议，在键合期间采集在超声波刀具的振动方向上代表超声波刀具尖端的至少一个时间-速度历程的速度历程测量信号。本发明也涉及适合于执行方法的键合设备。本发明此外涉及用于在超声波键合时的质量控制的另外的方法和适合于执行此方法的键合设备。

主权项

一种用于超声波键合、特别是超声波接线键合时的质量控制方法，其中，使用转换器 键合刀具单元和超声波发生器，并且其中，在键合期间通过一个或多个传感器采集一个或多个在键合期间变化的参数的测量信号来判断键合质量和/或影响键合，其特征在于，在键合期间特别地实时采集至少一个代表了超声波刀具的尖端在其振动方向上的时间 速度历程、特别是代表了关于所述时间 速度历程的振动相位历程的速度历程测量信号。